WEP050
ポスターセッション① 8月6日 6-1F 12:40-14:40
レーザープラズマ集束用テーパー型ソレノイド電磁石の設計・製作
Development of a tapered solenoid for laser plasma focusing
○柏木 啓次, 細谷 青児, 山田 圭介（QST高崎）
○Hirotsugu Kashiwagi, Seiji Hosoya, Keisuke Yamada（QST Takasaki）
レーザーイオン源は、真空チェンバー内の固体試料にパルスレーザーを集光照射して発生したプラズマからイオンを引き出してビームを生成する装置である。様々な固体試料をイオン源内に装填することで、多種なイオンビームを迅速に切り替えて生成できる。この特長を生かし、材料開発向けのイオン注入装置用レーザーイオン源を開発している。
レーザーイオン源で生成したプラズマは広い角度分布を持ち、3次元的に拡散する。このため、引出電極孔付近に到達するプラズマの中心軸部付近のイオンのみがビームとして引き出され、中心軸付近以外の多くのイオンはイオン源内で損失する。そこで、イオン源内のプラズマ生成領域近傍に磁場を印加し、プラズマを集束することでビーム強度を高めるため、イオン源内に設置するテーパー型ソレノイド電磁石の開発を行っている。発表では、テーパー型ソレノイドの設計及び製作について報告する。