THP047
ポスターセッション② 8月7日 61A 13:00-15:00
ワイヤーカソードNb/Zrスパッタリング成膜試験と評価
Wire cathode Niobium/Zirconium magnetron sputtering coating test and evaluation for superconducting cavities
○岡田 貴文1, 2, 山本 将博1, 2, 井藤 隼人1, 2（1高エネルギー加速器研究機構, 2総研大）
○Takafumi Okada1, 2, Masahiro Yamamoto1, 2, Ito Hayato1, 2（1KEK, 2SOKENDAI）
NbZrはバルクでは、Tc=10 K程度とNbをわずかに上回る程度の合金超伝導体であったため、これまで超伝導RF空洞への応用は期待されていなかった。
しかし、2023年に理想的な対称構造を持つと、Tcは18 K程度まで達するという理論的予測がなされた。
Nb-Zrは合金であり、比較的正確な化学量論比を空洞全体で必要とされるNb3Snに対してより高性能な空洞を得やすい可能性がある。
現在、高いTcを達成したと報告されているNbZr合金は電気めっきを用いたものである。
一方、筆者らはDCワイヤーカソードを用いたNbを超える超伝導空洞の材料開発を行っているが、
ZrはNEGコーティングにも用いられるカソード材料として使われており、Nb-ZrのスパッタはほかのNb3Snなどの超伝導材料と比較して、この手法に適していると考えた。
今回は、初めてNb/Zrワイヤーカソードによるスパッタリング試験を行ったため、その結果と一連の処理および表面特性評価について報告する。