THP046
ポスターセッション② 8月7日 61A 13:00-15:00
Nb3Sn SRF空洞のためのワイヤーカソードNbスパッタリング成膜試験と評価
Wire cathode Niobium magnetron sputtering coating test and evaluation for Nb3Sn superconducting cavities
○岡田 貴文1, 2, 山本 将博1, 2, 井藤 隼人1, 2（1高エネルギー加速器研究機構, 2総研大）
○Takafumi Okada1, 2, Masahiro Yamamoto1, 2, Ito Hayato1, 2（1KEK, 2SOKENDAI）
Nb₃Sn超伝導空洞の実現に向けて、ワイヤーカソードを用いたDCスパッタリング試験の進捗について報告する。
Nb₃Snは、転移温度がNbより高く、4.2 K運転においてNbを上回る高いQ₀値を示すことから、伝導冷却方式による超伝導空洞の実用化における有力な候補とされている。
2023年には、Nb/Snワイヤーカソードを用いた試料作製および表面分析結果を報告したが、カソードの融解という課題が明らかとなった。
これに対処するため、Snメッキを施した銅基板を使用する新たなアプローチが検討された。
本報告では、銅基板およびSnメッキ銅基板に対して行ったNbスパッタリングの実験結果、ならびに表面分析およびMT測定による超伝導特性評価の結果を紹介する。