THO605
加速器制御・真空 8月7日 6号館61C 10:10-10:30
無酸素Pd/Ti蒸着非蒸発型ゲッター（NEG）ポンプの高温活性化と排気特性評価
High-Temperature Activation and Pumping Performance Evaluation of Oxygen-Free Pd/Ti-Coated Non-Evaporable Getter (NEG) Pumps
○狩野 悠1, 正岡 祐介1, 矢部 学1, 濵中 健一1, 吉川 一朗2, 吉岡 和夫2, 富岡 蒼生2（1入江工研, 2東大 新領域創成科学研）
○Yuu Kanou1, Yusuke Masaoka1, Manabu Yabe1, Kenichi Hamanaka1, Ichiro Yoshioka2, Kazuo Yoshioka2, Aoi Tomioka2（1IKC, 2U Tokyo Frontier Sciences）
宇宙観測機の輸送容器には打上げの衝撃に耐えるため、最大1,120Gの衝撃に耐える堅牢性が求められる。また、打ち上げコスト最小化のため、小型化も重要である。更に観測機に使用される検出器の特性によっては水や酸素での影響で性能が低下するため、密閉性を確保し、それら気体を排除した真空状態が必要となる。更に、宇宙観測機は打ち上機に搭載されてから最大1か月間、無電源状態で待機する必要があり、ドライポンプのような電源が必要な排気装置は使用できない。一方で、無電源かつ室温で排気性能を維持できるNEGポンプにはZrVTi合金をゲッター材とするものがある。このタイプのものは耐衝撃性が低く、容器内部にゲッター材や加熱器具を収納する為の専有体積が必要になり、打ち上げコスト増加といった課題が生じる。これに対し、無酸素Pd/Ti蒸着膜をゲッター材とすると、蒸着膜が容器内壁に密着することで排気機能と吸着抑止によるガス放出抑制効果を発揮。そのためシンプルかつ軽量で堅牢な輸送容器を構成でき、無電源で継続的に排気可能な無酸素Pd/Ti蒸着NEGポンプが好適である。しかし、この無酸素Pd/Ti蒸着NEGポンプは繰り返し再活性化が可能な150℃以下の加熱で水素とCOを排気するが、水やその他活性ガスは排気できない。一方で、原理的には250℃以上に加熱することで、水素に加えて水やCO2などを排気することが示唆されている。本研究では、無酸素Pd/Ti蒸着NEGポンプを250℃以上で高温活性化した際の水に対する排気速度および排気容量を測定し、宇宙機への搭載に必要な要求仕様を検討した。