FRP017

非蒸発ゲッター（NEG）コーティングは、真空チェンバ―の内壁を真空ポンプに変えることで、排気コンダクタンスが制限される環境の真空改善に不可欠な技術である。また、光刺激脱離（PSD）を大幅に下げることで、多くの光源加速器に利用されている。NEGコーティングには、低温で再活性化できるTiZrV膜がよく使われている。 　我々は、Pd/TiZrV（Pd表面層を持つTiZrV）膜を開発し、TiZrV膜より高い水素の排気速度と低いPSDを有することを発見した。コーティング膜をもっと簡易にするために、本研究ではPd/TiとPd/Zr膜を作製し、その排気性能を調べた。 　マグネトロンスパッタを用いて、Ti（或いはZr）膜をCuダクトの内面に成膜し、その後Pd表面層を作製した。TiとZrの膜厚は約2 mで、Pdの膜厚は80 nmである。Ti（或いはZr）のターゲットをPdに切り替える際、Ti（或いはZr）コーティン膜は大気に触れてしまう。Ti（或いはZr）コーティング膜の表面酸化層を減らすため、250℃で加熱した後、Pdを成膜した。排気速度の測定結果、Pd/TiとPd/Zr膜は高い水素吸着量を示し、Pd表面で吸着した水素がTiとZr膜に入ることが分かった。また、Pd/Ti膜はPd/Zr膜より高い水素高い排気速度を示し、PdとTi或いはZrの界面の違いによると考えられる。